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适用范围及特点

用于测试可控硅或PN结(二极管)的长基区少子寿命。

数字显示测试结果,自动测试。

主要参数

少子寿命测量范围:0.1-99us

外形尺寸:440X×440×150mm

整机重量:10kg

特点

  • 无需重新布线即可将 C-V 测量移动到任何设备终端

  • 用户可配置低电流功能

  • 个性化输出通道名称

  • 查看实时测试状态

性能指标:

样品台:150mm×150mm

测量方式:扫描测量

X-Y轴重复定位精度:2μm

X-Y轴移动速度:最大每秒40mm

最大扫描点数:1024×1024

探头高度调整:自动调整

探头:配置氮气装置

探头重定位精度:1μm

遮光罩:测试区域配置遮光罩

可测电阻率范围:1×105~1012Ω·cm

探针直径:1mm或2mm