适用范围及特点
用于测试可控硅或PN结（二极管）的长基区少子寿命。
数字显示测试结果，自动测试。
主要参数
少子寿命测量范围：0.1-99us
外形尺寸：440X×440×150mm
整机重量：10kg
特点
无需重新布线即可将 C-V 测量移动到任何设备终端
用户可配置低电流功能
个性化输出通道名称
查看实时测试状态
性能指标：
样品台：150mm×150mm
测量方式：扫描测量
X-Y轴重复定位：2μm
X-Y轴移动速度：每秒40mm
扫描点数：1024×1024
探头高度调整：自动调整
探头：配置氮气装置
探头重定位：1μm
遮光罩：测试区域配置遮光罩
可测电阻率范围：1×105～1012Ω·cm
探针直径：1mm或2mm